无机化工论文_多功能磷化铟半导体材料的合成与

文章摘要:利用化学喷雾热解法，在773K温度下，基于玻璃衬底沉积得到了磷化铟薄膜. 进一步研究发现，磷化铟薄膜为立方相多晶，并且优先取向（111）方向，其直接带隙为1.50 eV. 磷化铟薄膜呈现n型导电性，电阻率为5.18×10³ Ω·cm. 因此，磷化铟薄膜材料在未来高频、大功率材料和光电子器件领域具有潜在应用.

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